Silizium-Wafer

Die Active Business Company GmbH liefert standardisiertes, spezielles und individuelles Siliziummaterial von führenden internationalen Waferherstellern. Wir bieten Ihnen die unterschiedlichsten Wafer an. Dabei lassen wir kaum Kundenwünsche offen.

CZ-Wafer

CZ-Wafer (Silizium Wafer nach dem Czochralski Verfahren) gehören zu den meistverkauften Silizium Wafern.

Die Spitze eines rotierenden Impfkristalls wird in die dotierte Siliziumschmelze in einem Schmelztiegel eingetaucht. Der Impfkristall gibt die gewünschte Kristallorientierung vor, da er die Kristallorientierung des entstehenden Einkristalls vorgibt. Es entsteht eine homogene Grenzschicht zwischen der Schmelze und dem festen Teil des Impfkristalls. Der Impfkristall wird langsam nach oben gezogen, während die Schmelze an der sich ausbildenden Grenzfläche erstarrt. Durch Variation von Ziehgeschwindigkeit und Temperatur erreicht der wachsende Kristall den gewünschten Durchmesser. Die entstandene Kristallsäule wird als Ingot bezeichnet.

FZ-Wafer

FZ-Wafer (Float Zone Silizium Wafer) sind eine hochreine Variante zu CZ-Wafer Silizium Wafer nach dem Czochralski-Verfahren).

Float-Zone-Wafer werden durch eine Fließzonenmethode hergestellt. Unter Verwendung eines multikristallinen Silizium-Ingots wird dieser langsam rotierend in schmalen Zonen induktiv erhitzt. Das Silizium im geschmolzenen Bereich nimmt eine ihm vorbestimmte Kristallorientierung an. Verunreinigungen sind beim Einbau in das entstehende Kristallgitter gegenüber Silizium energetisch benachteiligt (geringeres chemisches Potenzial), so dass diese sich in der Schmelze anreichern und nach Abschluss des  Zonenschmelzverfahrens am Ende des Kristalls konzentriert vorliegen und  abgetrennt werden. Float-Zone-Wafer sind dadurch hoch rein und weißen eine sehr geringe Konzentration an Carbon und Oxid auf.

Die Anwendung von Float-Zone-Wafer konzentriert sich dadurch auf MEMS, Dioden, IGBT, RF-Devices, Thyristors (Gleichrichter), hoch effiziente Solarzellen und Optische Produkte.

Prime Wafers

Die Active Business Company GmbH bietet Prime Grade Wafer gemäß der Semiconductor Equipment and Materials International Standards (SEMIStd.) von 1” bis hin zu einem Durchmesser von 450 mm an. Bei den Prime Grade Wafern handelt es sich um die höchste Güte von Silizium-Wafern welche zur Herstellung von Halbleiter-Bauelementen mit hohen Oberflächen- und Toleranzanforderungen  verwendet werden.

Test Wafers

Die Active Business Company GmbH bietet Test Grade Wafer gemäß der Semiconductor Equipment and Materials International Standards (SEMIStd.) von 1” bis hin zu einem Durchmesser von 450 mm an. Test Wafer weißen geringere Anforderungen als Prime Wafer auf und werden vorzugsweise zu Maschinen- und Herstellungstestzwecken eingesetzt.

Reclaimed Grade Wafers, Dummy Wafers

Bei reclaimten oder Dummy Wafern handelt es sich meist um ehemalige Prime- oder Test Wafer, die bereits prozessiert wurden. Vorhandene Strukturen oder Beschichtungen werden entfernt und danach poliert. Das Ergebnis entspricht dem von Test Wafern und können somit in weiten Bereichen kostengünstiger  wieder eingesetzt werden.